[发明专利]工件飘浮装置有效

专利信息
申请号: 200410097982.7 申请日: 2004-12-01
公开(公告)号: CN1623871A 公开(公告)日: 2005-06-08
发明(设计)人: 宫地博;上野成央;西川武志;铃木智 申请(专利权)人: SMC株式会社
主分类号: B65G49/06 分类号: B65G49/06;B65G49/07;H01L21/68
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 范莉
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 通过与确定于本体(28)中的供给口(26)连接的管(38)向确定于本体(28)中的连通腔室(36)供给压力流体。压力流体通过流体喷射部件(32)而从连通腔室(36)朝着工件(18)喷射,该流体喷射部件(32)由多孔材料制成,并通过板(34)而安装在本体(28)的端表面上。工件(18)通过朝着工件(18)喷射的压力流体和在工件(18)和板(34)之间流动的压力流体而向上漂浮并保持在空中。
搜索关键词: 工件 飘浮 装置
【主权项】:
1.一种工件漂浮装置,用于在通过压力流体向工件(18)施加压力以便使工件(18)保持在空中的同时传送工件(18),包括:装置本体(28、34),用于向该本体中供给压力流体,所述装置本体包括确定于其中的开口(30),该开口(30)朝着所述工件(18)开口;流体喷射部件(32),该流体喷射部件(32)由多孔材料制成,并装入在所述装置本体(28、34)中的开口(30)内,用于使从所述装置本体(28、34)供给的压力流体通过并使压力流体朝着所述工件(18)喷射;以及流量减小器,该流量减小器布置在所述装置本体(28、34)的、对着所述工件(18)的保持表面(53)上,用于减小在所述保持表面(53)和所述工件(18)之间流动的压力流体的流速,从而增加在所述保持表面(53)和所述工件(18)之间的所述压力流体的压力。
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