[发明专利]检查装置和检查方法有效
| 申请号： | 200410095910.9 | 申请日： | 2004-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN1612222A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 早见健一;金子正明 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | G11B5/48 | 分类号： | G11B5/48;G11B21/20;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在一平行于一平面部件的延伸平面的平面内的XY－坐标中获得形成在该平面部件上的一突出部分的凸面的顶部位置与该凸面的背面侧上的凹面的最深位置之间的偏差量。拍摄通过照射该凹面所获得的环形图像，并根据如此获得的图像来获取该凹面的最深位置的XY－坐标。对于该凸面，通过具有一与该平面部件的延伸平面平行的摄影光轴的一正面相机和具有一与该平面平行并与该正面相机的摄影光轴垂直的摄影光轴的侧面相机来分别获得该凸面的顶部位置的X坐标和Y坐标，并根据所获得的其相应的XY－坐标来获取偏差量和偏差方向。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，该检查装置检测形成在一平面部件上的一突出部分的凸面的顶部位置与构成该凸面的背表面的凹面的最深位置在一预定的XY-平面内的位置偏差，该检查装置包括：一下部相机，该下部相机布置在一被认为是该突出部分的凹面中心的部分下方并具有一指向该预定的XY-平面的摄影光轴；一正面相机，该正面相机具有一与该预定的XY-平面平行并指向该平面部件的摄影光轴；一侧面相机，该侧面相机具有一与该预定的XY-平面平行、指向该平面部件并且不同于该正面相机的摄影光轴的摄影光轴；以及一控制装置，该控制装置将由该下部相机、该正面相机和该侧面相机获得的图像布置在该预定的XY-平面内的一坐标系中以获得位置数据。
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