[发明专利]用于制造平板显示器件的方法和设备有效
| 申请号： | 200410095589.4 | 申请日： | 2004-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1637614A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 金珍郁 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00;G02F1/133;G09F9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种制造平板显示器件的方法，包括：在薄膜上涂布抗蚀剂；形成用于对所述薄膜进行构图的具有凹槽和凸起的软模；对所述凸起的端面进行处理；将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案；将所述软模与所述抗蚀剂图案分开；以及利用所述抗蚀剂图案对所述薄膜进行刻蚀以形成薄膜图案。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 平板 显示 器件 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种制造平板显示器件的方法，包括：在薄膜上涂布抗蚀剂；形成用于对所述薄膜进行构图的具有凹槽和凸起的软模；对所述凸起的端面进行处理；将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案；将所述软模与所述抗蚀剂图案分开；以及利用所述抗蚀剂图案对所述薄膜进行刻蚀以形成薄膜图案。
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