[发明专利]光刻装置有效
| 申请号： | 200410095448.2 | 申请日： | 2004-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1637613A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 申善秀;金成奉;李永范 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 吕晓章;马莹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种光刻装置，包括：在基板上涂覆抗蚀剂的涂胶机；存放从涂胶机提供的基板的第一缓冲器；对从第一缓冲器提供的基板进行烘焙的烘焙器；转动从烘焙器提供的基板的第一转台；使基板与涂胶机、第一缓冲器、烘焙器以及第一转台相互通信的第一传送器；对从第一转台提供的基板进行曝光的曝光机；对从曝光机提供的基板上的抗蚀剂进行显影的显影机；以及使得基板与第一转台、曝光机以及显影机相互通信的第二传送器。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光刻装置，包括：一在基板上涂覆抗蚀剂的涂胶机；一存放从涂胶机提供的基板的第一缓冲器；一对从第一缓冲器提供的基板进行烘焙的烘焙器；一转动从烘焙器提供的基板的第一转台；一使基板与涂胶机、第一缓冲器、烘焙器以及第一转台相互通信的第一传送器；一对从第一转台提供的基板进行曝光的曝光机；一对从曝光机提供的基板上的抗蚀剂进行显影的显影机；以及一使基板与第一转台、曝光机以及显影机相互通信的第二传送器。
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