[发明专利]有机电致发光面板及其制造方法、以及其制造装置无效
| 申请号： | 200410095218.6 | 申请日： | 2004-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1622707A | 公开（公告）日： | 2005-06-01 |
| 发明（设计）人： | 四谷真一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;H05B33/12;C23C14/04;G09F9/00;G09F9/30;H01L21/285 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种可以形成高精细的电致发光层或容易拆装蒸镀掩膜和被蒸镀基板的有机EL面板制造方法、用于实施该制造方法的简单构成的有机EL面板的制造装置以及由该制造装置制造的有机EL面板。在通过使用蒸镀掩膜(3)的蒸镀形成由多层构成的电致发光层的一部分或全部的有机电致发光面板的制造方法中，在蒸镀时，将蒸镀掩膜(3)配置在被蒸镀基板(玻璃基板4)的所定的位置上，用力按压被蒸镀基板，将蒸镀掩膜(3)与被蒸镀基板密接。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 电致发光 面板 及其 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种有机电致发光面板的制造方法，通过使用蒸镀掩膜的蒸镀形成由多层构成的电致发光层的一部分或全部，其特征在于：在蒸镀时，将被蒸镀基板配置在上述蒸镀掩膜的所定的位置上，用力按压上述被蒸镀基板，将上述蒸镀掩膜与上述被蒸镀基板进行密接。
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