[发明专利]多米束显微机械加工系统及方法有效
| 申请号： | 200410095115.X | 申请日： | 2004-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1644297A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 亚伯拉罕·格罗斯;兹维·科特勒;埃利泽·李普曼;丹·阿朗 | 申请（专利权）人： | 奥博泰克有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/04;B23K26/067;G02B27/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李瑞海;王景刚 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种用于把能量输送给基板的系统及方法包括提供多个辐射光束且可动态导向的辐射能量源，每个辐射光束沿可动态选择的方向传播。多个光束导向元件内的多个可独立定位的光束导向元件接收光束并把它们引导至基板上的可选择位置。多个激光束聚焦模块与多个光束导向元件联合，以把每个光束聚焦到该基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 多米束 显微 机械 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.用于把激光能输送给工件的装置，包括：提供至少一个激光束的至少一个激光能源；多个激光束导向模块，设置成可选择地引导所述至少一个激光束至一标的物上的可选择位置；以及多个激光束聚焦光学模块，与所述激光束导向模块联合以把激光束聚焦到所述工件上。
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