[发明专利]使用振荡电路测量微质量的装置和方法无效
| 申请号： | 200410094659.4 | 申请日： | 2004-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN1616947A | 公开（公告）日： | 2005-05-18 |
| 发明（设计）人： | 李守鉐;文元圭;李列镐 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N19/00 | 分类号： | G01N19/00;G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄小临;王志森 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种微质量测量装置，包括：在其上附着对象的悬臂、在悬臂上形成的压电元件、用于主动振动悬臂并提供由对象引起的改变的谐振频率的振荡电路、以及用于测量悬臂的谐振频率的频率测量设备。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 振荡 电路 测量 质量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微质量测量装置，包括：在其上附着对象的悬臂；在所述悬臂上形成的压电元件；振荡电路，用于主动振动所述悬臂并提供由所述对象改变的谐振频率；以及用于测量所述悬臂的谐振频率的频率测量设备。
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