[发明专利]制备电子显微镜检测样品用的夹具有效
| 申请号： | 200410093400.8 | 申请日： | 2004-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1796966A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 郭志蓉;周娟;张启华;潘敏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 201203上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 制备电子显微镜检测样品用的夹具，包括：手柄1、支撑架2、夹子3和连接装置4，支撑架2与手柄1连接在一起，连接装置4的一端连接夹子3，另一端连接支撑架2，夹子3按固定间隔g用连接装置4固定在支撑架4上。夹具的零部件用耐化学腐蚀材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 电子显微镜 检测 样品 夹具 | ||
【主权项】：
1、制备电子显微镜检测样品用的夹具，其特征是，包括：手柄(1)、支撑架(2)、夹子(3)、和连接装置(4)，支撑架(2)与手柄(1)连接在一起，连接装置(4)的一端连接夹子(3)另一端连接支撑架(2)，夹子(3)按固定间隔g用连接装置(4)固定在支撑架(2)上。
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