[发明专利]一种制备纳米间隙电极的反馈控制系统无效
| 申请号: | 200410091452.1 | 申请日: | 2004-11-24 |
| 公开(公告)号: | CN1778998A | 公开(公告)日: | 2006-05-31 |
| 发明(设计)人: | 陈芳;卿泉;吴忠云;刘忠范 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
| 主分类号: | C25F3/02 | 分类号: | C25F3/02;B23H3/00;G01N27/00;B82B3/00 |
| 代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐宁;关畅 |
| 地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种制备纳米间隙电极的反馈控制系统,其包括:直流沉积单元、实时监测单元、信号采集单元及控制器,直流沉积单元包括一直流源与一电化学液池,电化学液池中设置有对电极、参比电极及一对待沉积电极对,其中直流源为一电化学工作站,其第一输出端连接至对电极,第二输出端连接到参比电极,第三输出端经由地线连接到待沉积电极对,与第一输出端构成直流沉积回路;实时监测单元包括二采样电阻及二交流源,二采样电阻分别与待沉积电极对串联,另一端分别与二交流源串联形成交流回路,二交流源的另一端与电化学工作站的第三输出端共地;信号采集单元连接在采样电阻与待沉积电极对之间,信号采集单元的输出与控制器连接,控制器的输出与电化学工作站的控制端连接。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 制备 纳米 间隙 电极 反馈 控制系统 | ||
【主权项】:
1、一种制备纳米间隙电极的反馈控制系统,其包括:直流沉积单元、实时监测单元、信号采集单元及控制器,所述直流沉积单元包括一直流源与一电化学液池,所述电化学液池中设置有对电极、参比电极及一对待沉积电极对,其特征在于:所述直流源为一电化学工作站,其第一输出端连接至所述对电极,第二输出端连接到所述参比电极,第三输出端经由地线连接到所述待沉积电极对,与所述第一输出端构成直流沉积回路;所述实时监测单元包括二采样电阻及二交流源,所述二采样电阻分别与所述待沉积电极对串联,另一端分别与所述二交流源串联形成交流回路,所述二交流源的另一端与所述电化学工作站的第三输出端共地;所述信号采集单元连接在所述采样电阻与所述待沉积电极对之间,所述信号采集单元的输出与所述控制器连接,所述控制器的输出与所述电化学工作站的控制端连接。
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