[发明专利]开环易位共聚物氢化物及其制造方法

摘要

本发明涉及具有良好成膜性、易用于半导体精细加工的光敏抗蚀剂膜的聚合物。其特征在于，至少含有通式(3)及/或通式(4)的结构单元，重均分子量Mw和数均分子量Mn之比(Mw/Mn)大于2.0，小于5.0，其中，R⁸～R¹¹、R¹³～R¹⁶为氢原子或碳原子数1～10的烷基，X²、X³为－O－或－CR¹²₂－，R¹²为氢原子或碳原子数1～10的烷基，Y¹、Y²的其中一个为－(C＝O)－，另一个为－CR¹⁸₂－，R¹⁸为氢原子或碳原子数1～10的烷基，m、n为整数0或1～3。

主权项

1.一种开环易位聚合物氢化物，其特征在于，含有预期的下述通式(1)所示的结构单元[A]，并至少含有下述通式(3)所示的结构单元[B]及/或下述通式(4)所示的结构单元[C]，且通式(1)所示的结构单元[A]的X¹、通式(3)所示的结构单元[B]的X²及通式(4)所示的结构单元[C]的X³中，至少有一个为-O-，其构成摩尔比[A]/([B]及[C])为0/100～99/1，而且重均分子量Mw与数均分子量Mn之比(Mw/Mn)大于2.0，小于5.0，在通式(1)中，R¹～R⁴中的至少一个是以下述通式(2)表示的具有环烷基的三级酯基的官能基，其它则各自独立表示选自氢原子，碳原子数1～20的直链状、支链状或环状的烷基，卤素，碳原子数1～20的直链状、支链状或环状的卤代烷基，碳原子数1～20的直链状、支链状或环状的烷氧基，碳原子数2～20的直链状、支链状或环状的烷氧烷基，碳原子数2～20的直链状、支链状或环状的烷碳酰氧基，碳原子数6～20的直链状、支链状或环状的芳碳酰氧基，碳原子数1～20的直链状、支链状或环状的烷磺酰氧基，碳原子数6～20的芳磺酰氧基，碳原子数2～20的直链状、支链状或环状的烷氧羰基，或碳原子数3～20的直链状、支链状或环状的烷氧羰烷基，X¹为-O-或-CR⁷₂-，其中，R⁷表示氢原子或碳原子数为1～10的直链或支链状的烷基，可相同也可不同，j表示整数0或1～3；而在通式(2)中，虚线表示成键位，R⁵表示氢原子，碳原子数1～10的直链状、支链状或环状的烷基，碳原子数2～10的直链状、支链状或环状的烷氧烷基，或碳原子数1～10的直链状、支链状或环状的酰基，R⁶表示碳原子数1～10的直链状、支链状或环状的烷基，W¹表示单键或碳原子数1～10的k+2价的烃基，Z表示碳原子数2～15的二价烃基，它和与其结合的碳原子共同形成单环或交联环，k为0或1；在通式(3)中，R⁸～R¹¹分别独立表示氢原子、碳原子数1～10的直链状、支链状或环状的烷基，X²为-O-或-CR¹²₂-，其中，R¹²表示氢原子或碳原子数为1～10的直链或支链状的烷基，可相同也可不同，m表示整数0或1～3；在通式(4)中，R¹³～R¹⁶分别独立表示氢原子，碳原子数1～10的直链状、支链状或环状的烷基，X³为-O-或-CR¹⁷₂-，其中，R¹⁷表示氢原子或碳原子数为1～10的直链或支链状的烷基，可相同也可不同，Y¹及Y²一个是-(C＝O)-，另一个是-CR¹⁸₂-，其中，R¹⁸表示氢原子或碳原子数为1～10的直链或支链状的烷基，n表示整数0或1～3。