[发明专利]平板显示器制造设备

摘要

在此公开了一种使用在其中产生的等离子体来实施预定过程的平板显示器制造设备。在这种平板显示器制造设备中，过程气体在均匀扩散的状态下被提供到室中以在该室的对称内部空间内产生均匀的等离子体。因此，所述平板显示器制造设备可适当地控制等离子体的流率，由此能对大尺度基片实施均匀处理。在该平板显示器制造设备中，其基片底座被提供有垂直和水平屏蔽部件的组合，由此在整体上被保护以不受等离子体的冲击，从而导致增加的使用年限。

主权项

1.一种平板显示器制造设备，包括：真空下的室；位于所述室下部的基片底座，在基片底座上放置了基片，从而使用在所述室中产生的等离子体对基片实施预定过程；以及喷头，其中喷头包括：喷头体，位于所述室的上部，该喷头体具有在其下表面处打开的空心结构；扩散板，其被水平安装在喷头体中并具有通过预定位置而形成的多个扩散孔；喷射板，其与扩散板隔开均匀的预定高度以被安装在喷头体的开放下表面处，该喷射板具有通过预定位置而形成的多个喷射孔；以及喷射板支持部件，其在其下端被连接于喷射板并在其上端被连接于喷头体的顶部壁表面以便于相对于喷头体来支持和固定喷射板。