[发明专利]用于对准针状物的方法以及对准单元无效
| 申请号： | 200410090449.8 | 申请日： | 2004-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1619750A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | 鹤冈裕二;岩田和夫;神代和浩;高山秀人;瓮英一;毛利孝志 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J1/304 | 分类号： | H01J1/304;H01J9/02;H01J29/04;C01B31/02;H01L21/02;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过将针状物置于形成在衬底中的凹槽内，在凹槽的纵向上容易地对准针状物的方法，以及一种包括对准的针状物的对准单元。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对准 针状物 方法 以及 单元 | ||
【主权项】：
1.一种对准单元，包括：具有至少一个凹槽的衬底；以及与所述衬底的表面平行地沿所述凹槽的长度方向对准的碳纳米管。
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