[发明专利]纳米激光器测尺及实现纳米测量的细分方法

摘要

纳米激光器测尺及其实现纳米测量的细分方法属于激光精密计量技术领域，其特征在于：它在以猫眼作腔镜的位移自传感HeNe激光器系统的基础上，增加一个可和待测物体共同改变腔长的精密的微位移压电传感器，即PZT。输出的正交偏振光经偏振分光镜分光后，投射到两支光电探测器上，并由其后续电路进行计大数、测小数处理，得到位移测量结果并输出。它在测量前，用输出等光强电的办法，消除了现有技术中起始脉冲的误差，再在大范围的位移测量过程中，对功率调谐曲线所经过的周期数计数，最后，用微位移压电传感器测量最后一个没有被校准的周期，即测小数，从而达到更高精度、更高分辨率。

主权项

1.纳米激光器测尺，其特征在于，它含有：可动测杆(6)，它的一端与待测位移的物体接触；全外腔HeNe激光器，含有：猫眼逆反镜(7)，它与可动测杆(6)的另一端相连；与猫眼逆反镜(7)同光轴安装的激光器腔体，它含有增益管(9)以及沿光轴方向分别安装在增益管两侧的增透窗片(8)和(10)，其中增透窗片(8)或(10)的周边装有加力环，使其成为一个应力双折射元件，把单频激光变成具有两个正交偏振方向的双频激光；凹面输出镜(11)位于增透窗片(10)一侧，输出上述两个频率的正交偏振光；微位移压电传感器，即PZT，(12)，粘接于凹面输出镜(11)另一侧，可使凹面输出镜(11)沿光轴方向做细微移动；石英管(18)，一侧有开口，供可动测杆(6)滑移，另一侧的开口则与微位移压电传感器，即PZT，(12)粘连；偏振分光镜(13)，位于石英管(18)一端的外侧，分开自凹面输出镜(11)输出的共束的两正交偏振光；两个光电探测器(14)，接收偏振分光镜(13)分开的两束不同频率的正交偏振光；信号处理电路(15)，它的两个输入端分别与两个光电探测器(14)的信号输出相连；高压放大器(16)，它与信号处理电路(15)互连；显示设备(17)，它与信号处理电路(15)相连。