[发明专利]可筛选水分钝化平面折射率导向型垂直腔面发射激光器无效
| 申请号： | 200410088556.7 | 申请日： | 2004-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1627577A | 公开（公告）日： | 2005-06-15 |
| 发明（设计）人： | 威尔逊·H·威德贾贾;伯纳德·乌尔里克·克勒 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了可筛选的垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其制造方法。这些方法和系统解决了这些器件特别容易受到损伤的问题，否则浸入到用于形成折射率导向型限制区的刻蚀孔中的水分可能导致该损伤。一方面，VCSEL包括具有顶表面的垂直叠层结构。垂直叠层结构包括顶反射镜，底反射镜和腔区，该腔区布置在顶反射镜和底反射镜之间并包括活性光产生区。顶反射镜和底反射镜中的至少一个具有至少一个限定出孔隙区的层。垂直叠层结构限定出至少一个侧壁区域，所述侧壁区域从所述顶表面至少延伸到对应于所述孔隙区的深度。VCSEL还包括布置在侧壁区域处的筛选区的缺陷指示器系统。缺陷指示器系统包括具有化学可变的光学性能的指示器层和上覆于指示器层的阻挡层。 | ||
| 搜索关键词： | 筛选 水分 钝化 平面 折射率 导向 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
1.一种垂直腔面发射激光器，包括：垂直叠层结构，该垂直叠层结构具有顶表面，并包括顶反射镜，底反射镜，腔区，所述腔区布置在所述顶反射镜和所述底反射镜之间，并包括活性光产生区，所述顶反射镜和所述底反射镜中的至少一个具有至少一个限定出孔隙区的层；其中，所述垂直叠层结构限定出至少一个侧壁区域，所述至少一个侧壁区域从所述顶表面至少延伸到对应于所述孔隙区的深度；和布置在所述侧壁区域处的筛选区的缺陷指示器系统，所述缺陷指示器系统包括具有化学可变的光学性能的指示器层和上覆于所述指示器层的阻挡层。
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