[发明专利]弹性表面波器件及其制法及使用该器件的移动通信装置无效
| 申请号： | 200410088275.1 | 申请日： | 1999-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1599243A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 高山了一;古川光弘;村嶋祐二;樱川彻;野村幸治 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64;H03H9/145;H03H3/08;F01C17/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及弹性表面波器件及其制造方法以及使用这种器件的移动通信装置，这种器件的电极材料使用将在第1层金属层4上堆叠第2金属层5的迭层体至少堆叠2级以上，并且第1金属层4使用向铝的扩散系数比铝的自扩散系数小的金属，第2金属层使用添加至少一种以上的在常温下相对于铝固溶的金属以及至少一种以上的在常温下在铝的晶界上偏析或与铝形成金属间化合物的金属的、至少2种以上的金属的3元以上的铝合金，借助于此，可以得到能够耐受大电功率，能够使用已有的图案形成技术，受热稳定，并能够防止插入损耗增加的弹性表面波器件。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 表面波 器件 及其 制法 使用 移动 通信 装置 | ||
【主权项】：
1.一种弹性表面波器件，所述器件具有电极，所述电极是在基板上将第1金属层上堆叠第2金属层的迭层体至少堆叠2级以上的电极，其特征在于，第1金属层由向铝的扩散系数比铝的自扩散系数小的金属构成，第2金属层由添加至少一种以上的在常温下相对于铝固溶的金属以及至少一种以上的在常温下在铝的晶界上偏析或与铝形成金属间化合物的金属的、3元以上的铝合金构成；具有所述第1金属层使用高熔点金属(钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨及HfN、HfC、ZrN、ZrC、TaC、TiW、TiN)的电极。
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