[发明专利]动态随机存取存储器的结构

摘要

一种动态随机存取存储器结构，将基材上各存储晶胞单元的有源区单独排列，且同时设计深沟槽图案为一棋盘式排列，其中，各相邻深沟槽图案之间皆维持一固定间距。利用长型位线接触插塞的设置，以电连接对角相邻的每两个存储单元的有源区，其中，每一长型位线接触插塞上还设置有一接触窗口，以连接位线，进而使对角相邻的存储单元可由同一位线所控制。

主权项

1、一种动态随机存取存储器的结构，至少包括：多个有源区，位于一基材中，且排列成多条横向阵列，其中，每一该些有源区彼此结构独立；多个深沟槽，其中，每一该些深沟槽，位于每一该些有源区内的该基材中，且该些深沟槽构成一棋盘式排列，而于同列相邻的每一深沟槽间维持一固定间距；多个长型位线接触插塞，位于该些有源区的上方，并与该些有源区相接触，其中，每一该些长型位线接触插塞连接对角相邻的该些有源区的其中之二；多条字线，位于该些有源区的上方，其中，每一该些字线为一纵向阵列，且每一该些有源区与每两个该些字线交叉重叠；以及多条位线，通过该些长型位线接触插塞的上方，且与该些长型位线接触插塞相接触，其中，该些位线与该些字线形成一交叉阵列。