[发明专利]载盘设备无效
| 申请号： | 200410086958.3 | 申请日： | 2004-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1637905A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 真坂幸成;上野均 | 申请（专利权）人： | 日本先锋公司 |
| 主分类号： | G11B17/04 | 分类号： | G11B17/04;G11B17/028 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种载盘设备，包括将盘片(1)加载于转盘(2)上的举升部分(5)、将加载的盘片(1)夹持于转盘(2)上的卡盘(2a)、以及检测卡盘(2a)开始盘片夹持操作的夹持操作开始位置与卡盘(2a)完成盘片夹持操作的夹持操作终点位置之间的中间位置的第三开关(B)。在完成初始盘片夹持操作后，卡盘(2a)通过第三开关(B)返回中间位置并重试盘片夹持操作。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 | ||
【主权项】：
1.一种载盘设备，包括将盘片(1)加载于转盘(2)上的载盘机构(5)、将加载的盘片(1)夹持于转盘(2)上的盘片夹持机构(2a)、以及检测所述盘片夹持机构(2a)开始盘片夹持操作的夹持操作开始位置与所述盘片夹持机构(2a)完成盘片夹持操作的夹持操作终点位置之间的中间位置的中间位置检测器(B)，其中在完成初始盘片夹持操作后，所述盘片夹持机构(2a)返回通过所述中间位置检测器(B)检测的中间位置并重试盘片夹持操作。
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