[发明专利]弹性表面波元件和电子机器无效
| 申请号： | 200410086901.3 | 申请日： | 2004-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1612471A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 船坂司;押尾政宏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明可以提供各种特性(特别是温度特性)优良的弹性表面波元件和具备这样的弹性表面波元件的电子机器。本发明的弹性表面波元件(1)具有作为基板(2)的用(0、θ、ψ)表示欧拉角的水晶旋转Y板，具有设在该基板(2)上的IDT3和反射器(4、5)。IDT3以Al作为主成分构成，配置成使弹性表面波的传播方向和水晶旋转Y板的X轴的形成的角度ψ成为90±10°,并以满足下述关系A那样设定IDT3的规格化膜厚H/λ和切割角θ：[关系A] θmin≤θ≤θmax(其中θ＝129～144°) θmin＝857.06(H/λ) 2+23.656(H/λ)+123.68 θmax＝2502.4(H/λ) 2+73.1(H/λ)+121.7。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 表面波 元件 电子 机器 | ||
【主权项】：
1.一种弹性表面波元件，其特征在于，具有：用(0、θ、Ψ)表示欧拉角的水晶旋转Y板；和梳形电极，其设在该水晶旋转Y板上、具有将电信号转变为在上述水晶旋转Y板的表面附近传播的弹性表面波的功能和/或将在上述水晶旋转Y板的表面附近传播的弹性表面波转变为电信号的功能，其中，上述梳形电极以Al作为主成分构成，配置成上述弹性表面波的传播方向和上述水晶旋转Y板的X轴的形成的角度Ψ成为90±10°，以满足以下所示的关系A那样设定上述梳形电极的规格化膜厚H/入(H表示梳形电极的平均厚度，λ表示弹性表面波的波长)和切割角θ：[关系A]θmin≤θ≤θmax(其中θ＝129～144°)θmin＝857.06(H/λ)2+23.656(H/λ)+123.68θmax＝2502.4(H/λ)2+73.1(H/λ)+121.7
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