[发明专利]半导体芯片无效

专利信息
申请号: 200410085992.9 申请日: 2004-10-27
公开(公告)号: CN1612342A 公开(公告)日: 2005-05-04
发明(设计)人: 尾形义春 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: H01L27/00 分类号: H01L27/00;H01L23/00;H01L21/304
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李香兰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 半导体芯片(10),包括具有相互反向朝向且平行的第1以及第2面(14、16),和连接第1以及第2面(14、16)的周边的多个侧面(21~24)的半导体基板(12)。多个侧面(21~24)的至少一个是对第1以及第2面(14、16)倾斜的面,在倾斜面上形成槽(26)。槽(26),对与第1以及第2面(14、16)平行的平面交差的方向上延伸,同时在与第1以及第2面(14、16)垂直的平面交差的方向上延伸。这样,在半导体芯片表面上形成凹凸时不易破裂。
搜索关键词: 半导体 芯片
【主权项】:
1、一种半导体芯片,其特征在于,包括:半导体基板,包括相互反向朝向且平行的第1以及第2面,和连接所述第1以及第2面的周边的多个侧面;集成电路,其在所述半导体基板的所述第1面上形成;和电极,其在所述半导体基板的所述第1面上形成;所述多个侧面的至少一个是对所述第1以及第2面倾斜的面;在所述倾斜面上形成槽;所述槽,对与第1以及第2面平行的平面交差的方向上延伸,同时在与第1以及第2面垂直的平面交差的方向上延伸。
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