[发明专利]制作表面声波器件的方法及表面声波器件无效
| 申请号： | 200410084975.3 | 申请日： | 2004-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1604467A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 大和秀司 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈瑞丰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种制作表面声波器件的方法，包括以下步骤：在压电衬底上形成用来构成叉指电极、接线电极和电极焊接区的第一电极膜；在压电衬底上形成绝缘膜，以覆盖第一电极膜；将绝缘膜制成图案，除去第一电极膜要层叠第二电极膜的部分上存在的绝缘膜；在第一电极膜已除去绝缘膜的部分上形成第二电极膜；以及将凸起粘结在第二电极膜上。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 表面 声波 器件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制作表面声波器件的方法，其特征在于，依序包括以下步骤：提供压电衬底；在压电衬底上形成第一电极膜，用以构成叉指电极、接线电极和电极焊接区，所述接线电极与叉指电极接触，电极焊接区连接至接线电极，并且，至少使电极焊接区形成具有多个电极层彼此层叠的结构；在压电衬底上形成绝缘膜，以覆盖第一电极膜；将绝缘膜制成图案，以便除去第一电极膜上要层叠第二电极膜的部分上存在的绝缘膜；在第一电极膜上已除去绝缘膜的部分上形成第二电极膜；以及将凸起粘结在第二电极膜上，从而粘结至电极焊接区。
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