[发明专利]一种用于单光子源的单量子点嵌埋光学微腔及制备方法无效

专利信息
申请号: 200410084778.1 申请日: 2004-11-30
公开(公告)号: CN1638218A 公开(公告)日: 2005-07-13
发明(设计)人: 陆卫;王少伟;陈平平;李宁;张波;李志锋;陈效双 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: H01S5/34 分类号: H01S5/34;H01L33/00
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 张泽纯
地址: 20008*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种用于单光子源的单量子点嵌埋光学微腔及制备方法,光学微腔包括:衬底,与衬底牢固结合的光学微腔,嵌埋在光学微腔中的单量子点。所说的光学微腔由光学膜系构成,其膜系的带通峰位与量子点的荧光峰位一致。其制备方法是将量子点的生长过程与光学微腔的制备过程分离开来,使其不再直接关联,从而使得两个制备过程之间不再相互制约,极大地拓宽了两个独立制备过程各自的选择范围,可以设计制备出性能更优良的光学微腔和量子点,而且大大简化了整个制备工艺过程,最终使得制备高性能的单量子点嵌埋光学微腔成为现实。
搜索关键词: 一种 用于 光子 量子 点嵌埋 光学 制备 方法
【主权项】:
1.一种用于单光子源的单量子点嵌埋光学微腔,包括:衬底(1),与衬底牢固结合的光学微腔(2),嵌埋在光学微腔中的单量子点(3),其特征在于:所说的光学微腔由光学膜系构成,其膜系的带通峰位与量子点的荧光峰位一致,结构为 (LH)mnL(HL)m,其中(LH)m为微腔的下反射膜系(201),nL为谐振腔层(202),(HL)m为微腔的上反射膜系(203),L为低折射率膜层,H为高折射率膜层,m为L与H的交替叠层次数,m≥6,n为2的整数倍,n≥2,L和H膜层的厚度为1/4λ0,λ0 为荧光峰位;所说的单量子点(3)嵌埋在谐振腔层(202)的中间。
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