[发明专利]连续采样的哈特曼检测装置无效
| 申请号： | 200410084250.4 | 申请日： | 2004-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN1603773A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 黄惠杰;阎岩;刘丹;任冰强;赵永凯;黄立华;张维新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于透镜光学质量检测的连续采样的哈特曼检测装置，由照明系统、光束扫描机构、被检透镜、图像接受系统以及系统控制与数据处理软件组成，其特征在于：所述的照明系统是一输出光束口径可调的准直光源；所述的光束扫描机构由圆形屏、第一步进电机、一维电动调整架和支架组成；所述的图像接受系统包括CCD摄像机、导轨、第二步进电机、支架和计算机，所述的计算机与第一步进电机、第二步进电机、第三步进电机和CCD摄像机通过信号线相连。本发明能对被检透镜进行全面检测，可以得到被检透镜的局部误差。采样光束口径大小可以随意调节。检测波长可变。减小了照明系统的设计与加工难度，提高了检测的效率，实现了哈特曼光阑检测法的智能化和数字化。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 采样 哈特曼 检测 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于透镜光学质量检测的连续采样的哈特曼检测装置，由照明系统(9)、光束扫描机构(10)、被检透镜(11)、图像接受系统(12)以及系统控制与数据处理软件组成，其特征在于：所述的照明系统(9)是一输出光束口径可调的准直光源；所述的光束扫描机构(10)由圆形屏(101)、第一步进电机(102)、一维电动调整架(103)和支架(104)组成，该圆形屏(101)安放在一支架(104)上，该支架(104)的一方固定该第一步进电机(102)，第一步进电机(102)驱动该圆形屏(101)绕其轴旋转，该一维电动调整架(103)的两导轨(1031)沿径向固定在该圆形屏(101)上，该导轨(1031)上设置一滑块(1032)，该滑块(1032)上承载所述的照明系统(9)，所述滑块(1032)受第三步进电机(1033)驱动在导轨(1031)上移动；所述的图像接受系统(12)包括CCD摄像机(121)、导轨(122)、第二步进电机(123)、支架(124)和计算机(125)，所述的CCD摄像机(121)通过支架(124)置于导轨(122)上，该导轨(122)的方向与被检透镜(11)的光轴平行，CCD摄像机(121)光轴与被检透镜(11)光轴和圆形屏(101)的转轴三者同轴，所述的计算机(125)与第一步进电机(102)、第二步进电机(123)、第三步进电机(1033)和CCD摄像机(121)通过信号线相连。
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