[发明专利]多层配线电路基板的制造方法无效
| 申请号: | 200410083511.0 | 申请日: | 2004-10-08 |
| 公开(公告)号: | CN1606401A | 公开(公告)日: | 2005-04-13 |
| 发明(设计)人: | 长谷川峰快;中村圭;马场俊和 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
| 主分类号: | H05K3/46 | 分类号: | H05K3/46;H05K3/42 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 胡烨 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供了即使通过激光照射形成孔、也能够抑制粘合剂层被破坏、孔的内周面变得平滑、电连接可靠性有所提高的多层配线电路基板的制造方法。分别准备在第1绝缘层1的两面形成第1金属箔2及第2金属箔3的第1基板4,以及在第2绝缘层5的一面形成第3金属箔6的第2基板7,用粘合剂层8将第1基板4的第1金属箔2和第2基板7的第2绝缘层5粘合后,从第1基板4侧开始朝向第2基板7侧照射激光,形成通孔9。由于被照射到第2金属箔3及第1金属箔2而能量有所衰减的激光被照射到粘合剂层8,所以能够抑制粘合剂层8因热分解而受到的破坏,使通孔9的内周面变得平滑。 | ||
| 搜索关键词: | 多层 配线电 路基 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.多层配线电路基板的制造方法,它是具备2层以上的金属层和1层以上的粘合剂层的多层配线电路基板的制造方法,其特征在于,包括通过激光的照射,形成贯通2层以上的金属层及1层以上的粘合剂层的孔的步骤;前述步骤中,照射激光使至少被照射到2层的金属层的激光被照射到1层以上的粘合剂层。
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