[发明专利]晶圆测量系统

摘要

一种晶圆测量系统，提供一种改善的承载装置、而且能减少测量机台占用的空间。该晶圆测量系统包括一探针机台、一承载装置、及一高频测量设备。该探针机台包括有一基座、一探针平台、一对分别放置于探针平台两侧的探针支架、一置于这对探针支架中间的晶片夹座、及一显微观测装置；该承载装置包括有一位于该探针支架的上方的刚性平板，及多个支柱，该刚性平板设有一凹口供该显微观测装置观测；该高频测量设备至少包括一放置于该刚性平板上的自动调整器，及一穿过凹口并连接自动调整器到探针支架的信号连接线。

主权项

1、一种晶圆测量系统，包括：一探针机台，包括有一基座、一置于该基座上的探针平台、一对分别放置于该探针平台的两侧探针支架、一设置于这对探针支架中间的晶片夹座、及一放置于该晶片夹座上方的显微观测装置；一承载装置，包括有一个位于该探针支架的上方的刚性平板、及设于该刚性平板下方的多个支柱，该刚性平板设有一凹口供显微观测装置观测；及一高频测量设备，至少包括一自动调整器，该自动调整器放置于该刚性平板上的，及一穿过凹口并连接自动调整器到探针支架的信号连接线。