[发明专利]反射镜装置无效
申请号: | 200410083421.1 | 申请日: | 2004-10-08 |
公开(公告)号: | CN1603935A | 公开(公告)日: | 2005-04-06 |
发明(设计)人: | 松木薰;金子新二;外川刚;川合澄夫 | 申请(专利权)人: | 奥林巴斯株式会社 |
主分类号: | G03B17/00 | 分类号: | G03B17/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 权鲜枝 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种反射镜装置,该反射镜装置具有反射入射光束的反射面。固定部件的表面上具有多个驱动电极。移动部件在一面上形成有上述反射面,可以沿着上述固定部件,退避到上述入射光束的光路外。驱动电路为了在上述驱动电极与上述移动部件之间产生静电力,可以对上述各驱动电极施加电压。控制电路对上述驱动电路提供控制信号,该控制信号用于改变作用在上述移动部件上的静电力。 | ||
搜索关键词: | 反射 装置 | ||
【主权项】:
1.一种反射镜装置,具有用于反射入射光束的反射面,其特征在于,包括:固定部件,其表面上具有多个驱动电极:移动部件,其在一面上形成有上述反射面,可以沿着所述固定部件,退避到所述入射光束的光路外;驱动电路,其为了在所述驱动电极与所述移动部件之间产生静电力,可以对所述各驱动电极施加电压;控制电路,其对所述驱动电路提供控制信号,该控制信号用于改变作用在所述移动部件上的静电力。
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