[发明专利]基板清洗系统与方法

摘要

本发明是有关于一种基板清洗系统，包括：一密闭清洗室；一洗液供应装置；一二氧化碳液体储存装置；一压力控制装置；一温度控制装置；以及一在线监测装置；其中，洗液供应装置是以一接管与二氧化碳液体储存装置相连，二氧化碳液体储存装置是以一连接管与压力控制装置相接，压力控制装置以一连通管与温度控制装置相接，再以一通管将温度控制装置与密闭清洗室连接，将超临界状态二氧化碳混合液体送入密闭清洗室中，并利用复数个超音波喷嘴，将混合液体喷送于基板上；且，在线监测装置是以一取样管与密闭清洗室相连。

主权项

1.一种基板清洗系统，其特征在于，包括：一具有承载一基板的一旋转载体，与复数个超音波喷嘴的密闭清洗室；一洗液供应装置；一二氧化碳液体储存装置；一压力控制装置；一温度控制装置；以及一在线监测装置；其中，该洗液供应装置是供应一界面活性剂，并以一接管与该二氧化碳液体储存装置相连，该二氧化碳液体储存装置是以一连接管与该压力控制装置相接，该压力控制装置以一连通管与该温度控制装置相接，再以一通管将该温度控制装置与该密闭清洗室连接，将来自该洗液供应装置，以及该二氧化碳液体储存装置的一超临界状态的二氧化碳混合液体，通过由该通管送入该密闭清洗室中，并利用该复数个超音波喷嘴，将该混合液体喷送于该基板上；且，该在线监测装置是以一取样管与该密闭清洗室相连。