[发明专利]梁、具有梁的喷墨记录头及其制造方法有效
| 申请号: | 200410081989.X | 申请日: | 2004-12-15 |
| 公开(公告)号: | CN1628982A | 公开(公告)日: | 2005-06-22 |
| 发明(设计)人: | 牛岛隆志;山崎刚生;照井真;早川和宏 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
| 主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 朱德强 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 一种梁,该梁具有一个由单晶硅制成的基底材料和至少一个凸起,凸起被一体制成,凸起的至少一端受到支撑,凸起包括两个具有定向平面(111)的表面,该梁包括:一个底面,该底面位于一个与基底材料共面的平面内;一个沟槽,该沟槽从底面贯穿到凸起的顶部;和一个保护部件,该保护部件对各向异性晶体蚀刻液体具有耐受性并覆盖着沟槽的一个内壁。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 喷墨 记录 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种梁,该梁具有由单晶硅构成的基底材料和至少一个凸起,所述凸起被一体地形成以致至少在其一端处受到支撑,所述凸起具有两个表面,所述表面具有定向平面(111),该梁包括:底面,该底面位于一个与所述基底材料的平面共面的平面内;沟槽,所述沟槽从所述底面贯穿到所述凸起的顶部;保护部件,所述保护部件对晶体各向异性蚀刻液体具有耐受性并覆盖着所述沟槽的内壁。
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