[发明专利]具有检测反应室状态功能的化学气相沉积装置及检测方法无效
| 申请号： | 200410081939.1 | 申请日： | 2004-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN1789994A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 赖建兴 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 蒲迈文;黄小临 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种化学气相沉积装置，其包含有一加热支撑座(heating holder)设置于一反应室内，一淋气头(shower head)平行设置于该加热支撑座的上方，且该加热支撑座与该淋气头构成一电容，以及一反应室状态检测装置(chamber conditiondetector)，分别与该加热支撑座与该淋气头电连接，该反应室状态检测装置包含有一电阻，且该电阻与该电容串联构成一RC电路。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 检测 反应 状态 功能 化学 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有检测反应室状态功能的化学气相沉积装置，其包含有：一加热支撑座，设置于一反应室内；一淋气头，平行设置于该加热支撑座的上方，且该加热支撑座与该淋气头构成一电容；以及一反应室状态检测装置，分别与该加热支撑座与该淋气头电连接，该反应室状态检测装置包含有一电阻，且该电阻与该电容串联构成一RC电路。
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