[发明专利]发光器件及其制造方法

摘要

本发明的目的是提供一种发光效率(取出光的效率)高、亮度高、功耗低、并且稳定性高的发光器件以及这种发光器件的制造方法。在本发明中，分割墙和耐热性平整膜使用相同的材料，这样可以提高密接性，同时，可以减少制造成本。在耐热性平整膜上连接形成阳极或阴极。此外，密接分割墙和耐热性平整膜而不在其间夹具有不同折射率的膜，以形成不在界面产生光反射的结构。

主权项

1.一种发光器件的制作方法，包括以下步骤：在衬底上形成具有半导体层、栅绝缘膜、栅电极的薄膜晶体管，其中所述半导体层包括源区、漏区、以及源区和漏区之间的沟道形成区；在所述薄膜晶体管上形成耐热性平整膜；在所述耐热性平整膜上形成透明导电膜；选择性地去除所述耐热性平整膜和透明导电膜，从而形成位于所述源区或所述漏区上方的开口部分和具有锥形形状的周边部分，其中，所述开口部分具有锥形形状的侧面；选择性地去除所述栅绝缘膜从而形成到达所述源区或漏区的接触孔；在所述透明导电膜上形成导电膜；使用所述透明导电膜作为蚀刻阻止物而蚀刻所述导电膜，从而形成到达所述源区或漏区的电极；对和所述电极连接的透明导电膜执行图案化从而形成阳极；形成覆盖所述阳极边缘的分割墙；在所述阳极上形成含有有机化合物的层；以及在所述含有有机化合物的层上形成阴极。