[发明专利]溶胶－凝胶材料衍生的可调变光衰减器及其制造方法有效
| 申请号： | 200410078740.3 | 申请日： | 2004-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN1749787A | 公开（公告）日： | 2006-03-22 |
| 发明（设计）人： | 田珮;张光伟;朱安国;林靖渊;林雅惠;洪美智 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G02B6/24 | 分类号： | G02B6/24;G03F7/20;H04B10/12;H04J14/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明有关一种可调变光衰减器及其制造方法，首先形成一底披敷层于一衬底上，其次利用光刻技术形成一具有波导核心区域与一波导衰减区域的波导结构于底披敷层上。接着形成一上披敷层于底披敷层及波导结构之上，然后再设置一电极于上披敷层上，且电极的位置是对应于波导衰减区域的上方。此外，波导结构是由一溶胶－凝胶材料所构成。其中，溶胶－凝胶材料是借由混合及加热一金属烷氧化物溶液与一有机改质硅氧烷溶液而得。 | ||
| 搜索关键词： | 溶胶 凝胶 材料 衍生 可调 衰减器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溶胶-凝胶材料衍生的可调变光衰减器，至少包含：一衬底；一波导结构，形成于该衬底上，其中该波导结构具有一波导核心区域与一波导衰减区域，且该波导衰减区域是由一溶胶-凝胶材料所构成；以及一上披敷层，形成于该衬底与该波导结构之上。
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