[发明专利]共振组件及双轴组件，制作双轴组件和微系统组件的方法无效
| 申请号： | 200410071631.9 | 申请日： | 2004-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN1721911A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 吴名清;杨学安;林弘毅;方维伦 | 申请（专利权）人： | 华新丽华股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;B81B7/02;G09F9/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 臧建明;王玉双 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种共振组件及双轴组件，制作双轴组件和微系统组件的方法。该双轴组件包含一第一基板，具有数个电极；一第一接合层，位于该第一基板上；一作动层，具有一环部、一致动部、一第一转轴以及一第二转轴，藉由该第一接合层而与该第一基板相连；一第二接合层，其与该作动层相连；以及一保护盖，藉由该第二接合层而与该作动层相连。其中该第一基板、该第一接合层、该作动层、该第二接合层以及该保护盖共组成一真空空腔，而该致动部与该第一转轴位于该真空空腔之中，且该第二转轴延伸至该真空空腔之外。 | ||
| 搜索关键词： | 共振 组件 制作 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双轴组件，其具有：一第一基板，具有数个电极；一第一接合层，位于该第一基板上；一作动层，具有一环部、一致动部、一第一转轴以及一第二转轴，藉由该第一接合层而与该第一基板相连；一第二接合层，与该作动层相连；以及一保护盖，藉由该第二接合层而与该作动层相连；其中该第一基板、该第一接合层、该作动层、该第二接合层以及该保护盖共组成一真空空腔，该致动部与该第一转轴位于该真空空腔之中，而该第二转轴延伸至该真空空腔之外。
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