[发明专利]磺酸盐和光刻胶组合物

摘要

一种式(I)的磺酸盐，其中Q¹、Q²、Q³、Q⁴和Q⁵各自独立地表示某种取代基，A⁺表示相反离子，附加条件是Q¹、Q²、Q³、Q⁴和Q⁵中的至少一个是式(II)的基团，其中R¹和R²各自独立地表示含有1－12个碳原子的烷基等；和一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含式(I)的磺酸盐和一种树脂，所述的树脂包含含有酸不稳定基团的结构单元和本身不溶于或难溶于碱性水溶液、但是经酸的作用变得溶于碱性水溶液。

主权项

1.一种式(I)的磺酸盐：其中Q¹、Q²、Q³、Q⁴和Q⁵各自独立地表示氢、含有1-16个碳原子的烷基、含有1-16个碳原子的烷氧基、卤素、其中至少一个氢可以被烷基、环烷基、烷氧基、羟基或卤素取代的含有6-12个碳原子的芳基、其中在芳环上至少一个氢可以被烷基、环烷基、烷氧基、羟基或卤素取代的含有7-12个碳原子的芳基烷基、氰基、巯基、含有1-16个碳原子的烷硫基、羟基、硝基或式(I’)的基团：-COOR      (I’)其中R表示含有6-12个碳原子的芳基、式(II’)的基团或式(II”)的基团：其中R¹和R²各自独立地表示含有1-12个碳原子的烷基、含有3-12个碳原子的环烷基、含有7-12个碳原子的芳基烷基或含有6-12个碳原子的芳基，并且芳基烷基中或芳基中的芳环上的至少一个氢可以被烷基、环烷基、烷氧基、羟基或卤取代，或R¹和R²和邻接的-C(R^a)-一起连接形成单环或多环烃基，R^a表示含有1-8个碳原子的烷基，并且烷基中的-CH₂-除终端位置的外可以被-CO-、-O-或-S-取代，R³和R⁴各自独立地表示氢、含有1-12个碳原子的烷基、含有3-12个碳原子的环烷基、含有6-12个碳原子的芳基、含有7-12个碳原子的芳基烷基，并且芳基或芳基烷基中芳环上的至少一个氢可以被烷基、环烷基、烷氧基、羟基或卤素取代，或R³和R⁴与邻接的-CH-一起连接形成单环或多环烃基，前提条件是，Q¹、Q²、Q³、Q⁴和Q⁵中的至少一个是式(II)的基团：其中R^a、R¹和R²具有上述的相同含义，且A⁺表示相反离子。