[发明专利]用于除去感光树脂的稀释剂组合物有效
| 申请号： | 200410070223.1 | 申请日： | 2004-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1580959A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 尹锡壹;全雨植;朴熙珍 | 申请（专利权）人： | 东进瑟弥侃株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王琦;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于除去感光树脂的稀释剂组合物，该感光树脂用于制造半导体器件或液晶显示器，更特别地涉及包括a)烷基酰胺和b)酮的稀释剂组合物。稀释剂组合物可进一步包括c)全氟烃基氧化胺。本发明的稀释剂组合物可有效除去在衬底边缘和背面附着的不需要的彩色抗蚀剂，特别是用于制造液晶显示器的大尺寸彩色玻璃衬底。它还除去剩余薄膜并降低边缘的差距，因此有效地清洁衬底。因此，它以经济的优点而用于各种工艺，简化制造工艺并提高产率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 除去 感光 树脂 稀释剂 组合 | ||
【主权项】：
1、一种用于除去感光树脂的稀释剂组合物，包括：a)烷基酰胺；和b)酮。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东进瑟弥侃株式会社，未经东进瑟弥侃株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410070223.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种分配两种或多种材料的计量分配泵
- 下一篇：先导式电磁阀
