[发明专利]重测半导体元件的方法有效
申请号: | 200410069816.6 | 申请日: | 2004-07-09 |
公开(公告)号: | CN1719592A | 公开(公告)日: | 2006-01-11 |
发明(设计)人: | 全清成;林秋诚;李政傑;黄贵麟;陈永良;王瑞良;简宝塔;孔祥汉;胡朝雄 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 陈肖梅;文琦 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种重测半导体元件的方法,包含下列步骤:(1)提供第一半导体元件承载器,该承载器容置有复数个已测试过的半导体元件;(2)以取放机台将已测试过的半导体元件自第一半导体元件承载器取出,并依据第一地图的信息将该测试过的半导体元件置放于薄膜架上;其中第一地图具有至少包含半导体元件预定置放于该薄膜架上的位置坐标的半导体元件的信息;(3)将承载半导体元件的薄膜架置于测试机台中,并通过该测试机台及根据第一地图的信息对半导体元件进行重新测试的步骤;(4)将承载半导体元件的薄膜架置放于取放机台中,并通过取放机台及依据测试机台的重新测试结果取出半导体元件,并依其测试结果的等级分类而依序置放于至少第二半导体元件承载器中。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 方法 | ||
【主权项】:
1.一种重测半导体元件的方法,其特征在于,包含:提供一第一半导体元件承载器,该第一半导体元件承载器容置有复数个已测试过的半导体元件;以一取放机台自该第一半导体元件承载器取出该等已测试过的半导体元件,并依据一第一地图的信息将该等测试过的半导体元件置放于一薄膜架上;将承载该等已测试过半导体元件的该薄膜架置于一测试机台中,且该测试机台根据该第一地图的信息对该等已测试过半导体元件进行重新测试以得到一重新测试结果;及将承载该等经重新测试的半导体元件的该薄膜架置放于该取放机台中,且该取放机台根据该重新测试结果取出该等经重新测试过的半导体元件,并置放于至少一第二半导体元件承载器中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日月光半导体制造股份有限公司,未经日月光半导体制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200410069816.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:冰箱用去除异味装置
- 下一篇:一种治疗风湿、类风湿、肩周炎的胶囊及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造