[发明专利]重测半导体元件的方法有效

专利信息
申请号: 200410069816.6 申请日: 2004-07-09
公开(公告)号: CN1719592A 公开(公告)日: 2006-01-11
发明(设计)人: 全清成;林秋诚;李政傑;黄贵麟;陈永良;王瑞良;简宝塔;孔祥汉;胡朝雄 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 陈肖梅;文琦
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明涉及一种重测半导体元件的方法,包含下列步骤:(1)提供第一半导体元件承载器,该承载器容置有复数个已测试过的半导体元件;(2)以取放机台将已测试过的半导体元件自第一半导体元件承载器取出,并依据第一地图的信息将该测试过的半导体元件置放于薄膜架上;其中第一地图具有至少包含半导体元件预定置放于该薄膜架上的位置坐标的半导体元件的信息;(3)将承载半导体元件的薄膜架置于测试机台中,并通过该测试机台及根据第一地图的信息对半导体元件进行重新测试的步骤;(4)将承载半导体元件的薄膜架置放于取放机台中,并通过取放机台及依据测试机台的重新测试结果取出半导体元件,并依其测试结果的等级分类而依序置放于至少第二半导体元件承载器中。
搜索关键词: 半导体 元件 方法
【主权项】:
1.一种重测半导体元件的方法,其特征在于,包含:提供一第一半导体元件承载器,该第一半导体元件承载器容置有复数个已测试过的半导体元件;以一取放机台自该第一半导体元件承载器取出该等已测试过的半导体元件,并依据一第一地图的信息将该等测试过的半导体元件置放于一薄膜架上;将承载该等已测试过半导体元件的该薄膜架置于一测试机台中,且该测试机台根据该第一地图的信息对该等已测试过半导体元件进行重新测试以得到一重新测试结果;及将承载该等经重新测试的半导体元件的该薄膜架置放于该取放机台中,且该取放机台根据该重新测试结果取出该等经重新测试过的半导体元件,并置放于至少一第二半导体元件承载器中。
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