[发明专利]制造设备

摘要

本发明的目的是提供一种气相淀积设备，该设备通过提高EL材料的利用效率而减少制造成本，并在形成EL层的产量或均匀性上是优越的，本发明并且提供气相淀积方法。本发明的特征是，在气相淀积室内，使安装了储藏蒸发材料的容器的蒸发源托架104a、105a相对于衬底101，只向一个方向(例如Z轴方向)以一定速度移动(或来回移动)，而且，在和蒸发源托架的移动方向直交的方向(例如X轴方向)上以一定间隔搬运衬底。

主权项

1.一种制造设备包括：具备淀积室的淀积(成膜)设备， 其中，所述淀积室又包括：衬底托架，其中衬底相对于所述淀积室底面被垂直地放置，并且该衬底在被保持竖立的状态下在X轴方向上被移动；装有蒸发材料的蒸发源，该蒸发源提供在衬底对面；以和X轴呈直角的Z轴方向移动该蒸发源的装置，并且其中，在Z轴方向上升降所述蒸发源后，在X轴方向上以一定间隔移动所述衬底，反复重复该工艺以形成膜。