[发明专利]导电图案检查装置有效
| 申请号： | 200410069169.9 | 申请日： | 2004-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1576870A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 小原徹;板垣卓男;藤井昌幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社东京阴极研究所 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种导电图案检查装置，可以更简单进行可靠性高的导电图案的状态的检查。导电图案检查装置(10)具有与检查对象图案(14)的一端静电耦合的传感器电极(18)和与全部导电图案(14)的另一端静电耦合的馈电电极(16)。并且，经馈电电极(16)和传感器电极(18)向对象图案施加交流信号，而检测出在电源(20)和传感器电极(18)之间流过的电流值。根据所检测出的电流值检测出有无导电图案的短路和短路。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 图案 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种导电图案检查装置，检查在衬底上配置的多个导电图案的状态，其特征在于，包括：传感器电极，与检查对象图案的一端静电耦合；馈电电极，与包含检查对象图案的至少两个以上的连续导电图案的另一端电连接；信号施加单元，经馈电电极和传感器电极向对象图案施加交流信号；电流值检测单元，检测出在信号施加单元的电源和传感器电极或馈电电极间流过的电流值；缺陷检测单元，根据所检测出的电流值，检测导电图案有无断路或短路。
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