[发明专利]谐振式压电微传感器谐振频率的检测方法无效
| 申请号： | 200410067595.9 | 申请日： | 2004-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1603845A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王军军;周嘉;黄宜平 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01R23/02 | 分类号： | G01R23/02;G01L1/10 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属压电微传感器技术领域，具体为一种谐振式压电微传感器谐振频率的检测方法。该方法根据激励信号在一定范围内的直流偏置电压与压电微结构的谐振频率存在线性对应关系，在非探测环境和探测环境中，分别用激励信号激励压电微结构，利用数据采集卡比较分别获得最大幅值，以及对应于最大幅值的直流偏置电压VDC和VDC1，再根据VDC和VDC1的差值求解得传感器的谐振频率改变值。使用本发明可实现一种简单的，易于芯片集成的谐振式压电微传感器专用的信号检测系统，而且检测灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 压电 传感器 频率 检测 方法 | ||
【主权项】：
1、一种谐振式压电微传感器谐振频率的检测方法，其特征在于具体步骤如下：(1)在非探测环境中，用激励信号Vin激励压电微结构，在一组扫描直流偏置电压的过程后，利用数据采集卡中比较获得最大幅值，再找到对应这一最大幅值的直流偏置电压VDC0，VDC0就是对应微传感器初始谐振状态的直流偏置电压；(2)在探测环境中，同样用激励信号Vin激励压电微结构，利用数据采集卡比较获得最大的幅值，再找到对应这一最大幅值的直流偏置电压VDC1，VDC1就是对应微传感器谐振频率改变后谐振状态对应的直流偏置电压；(3)利用VDC0和VDC1差值求解传感器的谐振频率改变值Δf；VDC1-VDC0＝AΔf，这里，A是直流偏置电压变化量和谐振频率变化量的一个线性系数，通过实验测得。
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