[发明专利]多弧等离子镀膜工艺无效
| 申请号： | 200410067482.9 | 申请日： | 2004-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN1603453A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 于洪潮 | 申请（专利权）人： | 于洪潮 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 313000浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 多弧等离子镀膜工艺，属于镀膜加工技术领域。包括以下步骤：对被镀件表面进行活化处理，清洗干净；将洗净的被镀件固定在转架上，炉膛内真空度保持1.0－5.0×10－2Pa，同时，将被镀件加热至100－150℃；将被镀件加负偏电压，电压值为50－200V，同时加入氩气10－100ml/min，轰击1－2min；选用钛、锆或铬为衬底材料，镀制底层；根据不同镀层颜色，在真空度为1.0－3.0×10－1Pa，偏置电压为20－100V，弧电流为50－100A条件下，进行镀膜。采用本发明所生产的成品镀层色差小、界面结合力好，能有效解决脱膜问题，其一次镀膜合格率可达95％以上，提高了镀膜产品的成材率、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 镀膜 工艺 | ||
【主权项】：
1.多弧等离子镀膜工艺，其特征在于包括以下步骤：(1)对被镀件表面进行活化处理，清洗干净；(2)将清洗干净的被镀件固定在镀膜机炉膛内的转架上，炉膛内真空度保持1.0-5.0×10-2Pa，同时，将被镀件加热至100-150℃；(3)将被镀件加负偏电压，电压值为50-200V，同时加入氩气10-100ml/min，轰击被镀件1-2min；(4)选用钛、锆或铬为衬底材料，镀制底层；(5)根据不同镀层颜色，在炉膛内加入反应气体，在真空度为1.0-5.0×10-1Pa，偏置电压为20-100V，弧电流为50-100A条件下，进行镀膜。
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