[发明专利]步进扫描光刻机连续扫描同步控制方法和系统

摘要

本发明首先提供了一种步进扫描投影光刻机同步控制方法，该方法基于谈判机制和队列机制，谈判机制用于当前扫描执行阶段获得下一次扫描所需的参数；队列机制则将谈判获得的下一次扫描参数放入子模块的扫描队列中，以保证多次扫描能够连续执行，通过这两种机制的有机结合，从而实现光刻机系统的连续曝光扫描同步控制。本发明还提供了用于实现上述方法的步进扫描投影光刻机同步控制系统，该系统包括上位机和若干个子系统，同步控制卡通过内部总线实时向工件台运动控制卡和掩模台运动控制卡发布同步信息，并同时向照明控制单元的剂量控制卡和狭缝运动控制卡发送同步触发命令，以保证连续曝光扫描控制中工件台、掩模台、曝光剂量以及狭缝运动完全同步。

主权项

1.一种步进扫描光刻机连续扫描同步控制系统，其特征在于，包括：上位机(100)，包括一个曝光控制模块(101)；工件台掩模台控制单元(110)，包括第一主控CPU板(111)，工件台运动控制卡(116)，掩模台运动控制卡(117)，同步控制卡(118)；所述第一主控CPU板(111)上有扫描控制模块(112)，工件台控制模块(113)，掩模台控制模块(114)，同步控制模块(115)；所述第一主控CPU板(111)与所述工件台运动控制卡(116)，所述掩模台运动控制卡(117)，所述同步控制卡(118)通过内部总线相连接；照明控制单元(120)，包括第二主控CPU板(121)，狭缝运动控制模块(124)，剂量控制卡(125)；所述第二主控CPU版(121)上有狭缝控制模块(122)，剂量控制模块(123)；所述第二主控CPU板(121)与所述狭缝运动控制卡(124)，所述剂量控制卡(125)通过内部总线相连接；所述同步控制卡(118)通过内部总线实时向所述工件台运动控制卡(116)和所述掩模台运动控制卡(117)发布同步信息，同时向所述照明控制单元(120)的所述剂量控制卡(125)和所述狭缝运动控制卡(124)发送同步触发命令。