[发明专利]编码程序化光罩式只读存储器的方法

摘要

本发明揭露一种编码程序化光罩式只读存储器的方法。根据本方法，于已植入位线的基板的字符线以与门极氧化层上形成第一光阻层。接着，图案化第一光阻层，以于所有的存储单元上形成对应交叉字符线及位线的预编码透光孔。再利用粒子植入或电浆方式固化第一光阻层。然后，在第一光阻层上形成第二光阻层，并图案化第二光阻层，以于编码为逻辑值0的存储单元上形成实际码透光孔。透过预编码透光孔以及实际码透光孔，对每一个待编码存储单元进行粒子植入。

主权项

1.一种编码程序化只读存储器(Read-only Memory，ROM)组件的方法，该ROM组件包括位于一基板中指向一第一方向的多条位线、位于该基板上的一栅极氧化层、以及以一第二方向形成于栅极氧化层上的多条字符线，该方法包括：于所述字符线及该栅极氧化层上，形成一第一植入阻抗层；选择性地曝光该第一植入阻抗层，以形成多个第一编码透光孔，各所述第一编码透光孔位于一栅极区中一字符在线，以及相邻两位线与该字符线交接处之间，其中所述第一编码透光孔形成的图案是大体上曝露所有该ROM组件中预定选取的待编码栅极区；于该第一植入阻抗层上，形成一第二植入阻抗层；选择性地曝光该第二植入阻抗层，以形成多个第二编码透光孔，其中各所述第二编码透光孔是根据该ROM组件的一编码内容决定其预设的位置；以及透过该第二编码透光孔植入粒子。