[发明专利]全氟化合物废气加强处理系统无效
| 申请号： | 200410062366.8 | 申请日： | 2004-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN1718273A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 陈怡蓉 | 申请（专利权）人： | 陈怡蓉 |
| 主分类号： | B01D53/68 | 分类号： | B01D53/68;B01D53/86;B01D53/77 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘领弟 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种全氟化合物废气加强处理系统。为提供一种能去除废气中夹带的全氟化合物、降低对环境污染、适用范围广的半导体制造辅助设备，提出本发明，它设置于废气处理设备的一侧；其包含基台本体及设置于基台本体外部的进、排气管；进气管与废气处理设备连接；排气管接设用以将基台本体内部的气体排出的抽气单元；基台本体内部设有集水箱、与基台本体外部进气管连接的前段冷凝管、触媒处理单元、水处理单元及与基台外部的排气管连接的后段冷凝管；集水箱包括与前段冷凝管及触媒单元连接连接的第一集水箱及与水处理单元及后段冷凝管连接的第二集水箱；触媒单元与水处理单元之间以管路连接。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 废气 加强 处理 系统 | ||
【主权项】：
1、一种全氟化合物废气加强处理系统，它设置于废气处理设备的一侧；其特征在于它包含基台本体及设置于基台本体外部的进、排气管；进气管与废气处理设备连接；排气管接设用以将基台本体内部的气体排出的抽气单元；基台本体内部设有集水箱、与基台本体外部进气管连接的前段冷凝管、触媒处理单元、水处理单元及与基台外部的排气管连接的后段冷凝管；集水箱包括与前段冷凝管及触媒单元连接连接的第一集水箱及与水处理单元及后段冷凝管连接的第二集水箱；触媒单元与水处理单元之间以管路连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陈怡蓉，未经陈怡蓉许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410062366.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
