[发明专利]盘片溅镀遮罩无效
| 申请号： | 200410057441.1 | 申请日： | 2004-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN1734609A | 公开（公告）日： | 2006-02-15 |
| 发明（设计）人： | 林传家;刘近兴 | 申请（专利权）人： | 精碟科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅;文琦 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种盘片溅镀遮罩，包含一遮罩主体以及一遮罩内环，其中，遮罩主体具有一第一开口及一连接部，连接部环设于第一开口周围；遮罩内环具有一第二开口、并以部分重叠的方式固设于连接部，且第二开口相对位于第一开口中。 | ||
| 搜索关键词： | 盘片 溅镀遮罩 | ||
【主权项】：
1、一种盘片溅镀遮罩，其特征在于，包含：一遮罩主体，其具有一第一开口、以及一连接部，该连接部环设于该第一开口周围；以及一遮罩内环，其具有一第二开口、并以部分重叠的方式固设于该连接部，其中该第二开口相对位于该第一开口中。
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