[发明专利]探测卡无效

专利信息
申请号: 200410056717.4 申请日: 2004-08-10
公开(公告)号: CN1637420A 公开(公告)日: 2005-07-13
发明(设计)人: 町田一道;浦田敦夫;木村哲平 申请(专利权)人: 日本电子材料株式会社
主分类号: G01R1/02 分类号: G01R1/02;G01R1/073
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 李家麟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的一个目的是提供一种探测卡,它能够稳定接触测量物体的电极并能够以较窄的间距来排列探针,从而适应于高复杂的集成电路作为测量物体。本发明的探测卡包括:多个直线探针100;一个引导基板200,它具有绝缘性能,在该引导基板上制成了多个可以自由移动方式插入探针100的引导孔210,并且该引导孔210的长度短于探针100的长度;以及多个片状部件300,它具有绝缘性能,面对着基板299设置在其上面,保持着间距一层叠在另一层上,使之相互之间不接触;其中部分探针100的尾部120可以与片状部件301上的电极引脚310相接触,而其它探针100的尾部120可以贯穿片状部件301,使之能够与片状部件302上的电极引脚310相接触。
搜索关键词: 探测
【主权项】:
1.一种探测卡包括:多个直线探针;一个引导基板,它具有绝缘性能,在该引导基板上制成了多个可以自由移动方式插入探针的引导孔,并且该引导孔的长度短于探针的长度;以及多个片状部件,它具有绝缘性能,面对着基板设置在其上面,保持着间距一层叠在另一层上,使之相互之间不接触,其中,在片状部件的各自表面上设置了电极引脚,部分探针的尾部凸出引导孔的上边,可以与在多个片状部件的最下层中的片状部件上的电极引脚相接触,而其它探针的尾部凸出引导孔的上边,可以贯穿在最下层的片状部件或者包括最下层的片状部件的片状部件,使之能够与最下层中的片状部件上的片状部件上的电极引脚相接触。
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