[发明专利]液晶显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种液晶显示装置及其制造方法，其课题是针对减少已有制造步骤数的制造方法中，当沟道长度缩短时，制造余裕度(margin)变小而良率降低的情形而研发。本发明的解决手段是具备：通过半色调(halftone)曝光技术的导入，将扫描线的形成步骤、与接触部分的形成步骤合理化的新颖技术；和通过在已有技术的源极·漏极布线的阳极氧化步骤，导入半色调曝光技术，以将电极端子的保护层形成步骤合理化的新颖技术；和利用与已有同时形成像素电极和扫描线的合理化技术的技术组合，以构筑TN型液晶显示装置和IPS型液晶显示装置的4道掩模制程(mask·process)、3道掩模制程(mask·process)方案。

主权项

1.一种液晶显示装置，包括第1透明性绝缘基板、和与上述第1透明性绝缘基板相对的第2透明性绝缘基板或滤色片的间充填液晶，而该第1透明性绝缘基板是于一主面上，至少具有：绝缘栅极型晶体管、和兼具上述绝缘栅极型晶体管的栅极电极的扫描线、和兼具源极布线的信号线、和连接于漏极布线的像素电极的单位像素，被配列成二维矩阵，其特征为：至少在第1透明性绝缘基板的一主面上，形成有由一层以上的金属层所构成且其侧面具有绝缘层的扫描线；在栅极电极上，形成一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第1半导体层；在上述第1半导体层上，形成宽度比栅极电极还细的保护绝缘层；在图像显示部以外的区域，于扫描线上的栅极绝缘层形成开口部，而在开口部内露出部分扫描线；在上述部分保护绝缘层上和第1半导体层上和第1透明性绝缘基板上，形成由含杂质的第2半导体层与含耐热金属层的一层以上可阳极氧化的金属层层积所构成的源极(信号线)·漏极布线、和同样地含上述开口部周边的第1半导体层的扫描线电极端子；在上述部分漏极布线上和第1透明性绝缘基板上，形成透明导电性的像素电极，在图像显示部以外区域的信号线上，形成透明导电性的电极端子；及除了与上述漏极布线的像素电极重叠的区域和信号线电极端子的区域外，在源极·漏极布线的表面，形成阳极氧化层。