[发明专利]Ti－AL－O－N硬质复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 200410053491.2 | 申请日： | 2004-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN1587435A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 胡祖光;祝新发;梅芳华;李戈扬;许辉;袁家栋;戴嘉维 | 申请（专利权）人： | 上海工具厂有限公司;上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 20009*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种Ti－Al－O－N硬质复合涂层及其制备方法，用于陶瓷涂层领域。涂层成分范围为18～36at％Ti，17～32at％Al，4～24at％O，27～41at％N，涂层以晶体态存在。在金属或陶瓷材料的基体上采用Ti－Al合金靶或Ti－Al复合靶材并与Ar、N2和O2的混合气体进行反应溅射制取。本发明在传统的Ti－Al－N体系涂层基础上加入了O元素，使该种涂层不但具有优良的高温抗氧化性，而且具有高的硬度；其硬度高于32GPa。本发明作为高速切削刀具、干式切削刀具及其在高温条件下服役零件的耐磨工作涂层具有很高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | ti al 硬质 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种Ti-Al-O-N硬质复合涂层，其特征在于，涂层组分原子百分比为：18～36at％Ti，17～32at％Al，4～24at％O，27～41at％N。
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