[发明专利]布拉格光栅氢气传感器及其制备工艺无效
| 申请号： | 200410052859.3 | 申请日： | 2004-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN1587993A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 陈吉安;曹莹;张晓晶;邱显涛;周业成 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01N27/407 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种布拉格光栅氢气传感器及其制备工艺，用于自动控制技术领域。布拉格光栅氢气传感器中，钯膜依附于衬底镍薄膜形成双层膜结构，该结构一端固定于Cu基底上，另一端悬空形成悬臂梁，写有布拉格光栅的光纤探头贴于悬臂梁悬空端部，纤尾则作为接口。制备工艺：在单晶硅基片通过Cr/Cu打底；电镀Cu膜；磁控溅射氢敏感膜；涂光刻胶，光刻；电镀金属Ni膜并去除光刻胶；以镍膜为掩膜干法刻蚀金属钯；以镍膜为掩膜湿法刻蚀铜膜；选定布拉格波长，并通过准分子激光写入法，制作布拉格光纤光栅；将端部写有布拉格光栅的光纤探头粘贴在微悬臂梁上，光纤另一端纤尾则为接口。本发明提高了光栅的轴向驱动力，解决了为提高敏感性而增加膜厚所带来的易破坏等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 布拉格 光栅 氢气 传感器 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种布拉格光栅氢气传感器，包括：钯膜(1)、衬底镍薄膜(2)、Cu基底(3)、光纤探头(4)、纤尾(5)，其特征在于，钯膜(1)依附于衬底镍薄膜(2)形成双层膜结构，该结构一端固定于Cu基底(3)上，另一端悬空形成悬臂梁，写有布拉格光栅的光纤探头(4)贴于悬臂梁悬空端部，通过光纤连接，光纤的另一端纤尾(5)则作为接口。
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