[发明专利]一种薄膜热电偶温度传感器

摘要

一种薄膜热电偶温度传感器属于温度传感器领域。一种薄膜热电偶温度传感器由刀头、电极组成，刀头分为上部分和刀头下部分，在刀头上下两部分相接触的表面上都分别涂有一层绝缘膜，热电偶薄膜由热电偶薄膜NiCr膜和NiSi膜组成，被放置在刀头上、下部分之间的绝缘膜上。刀头上下两部分通过一个阶梯相互定位，并用高强度胶粘接成一个整体；由导电银胶将NiCr热电偶丝和NiSi热电偶丝分别与热电偶薄膜相连接，热电偶丝通过在刀头下半部上的通孔引出刀头体外。薄膜热电偶温度传感器具有很快的响应速度，牢靠，有足够的切削强度。可用于化爆材料等非金属材料的切削温度测量，也可用于金属材料切削温度测量。

主权项

1、一种薄膜热电偶温度传感器由刀头、电极组成，其特征是，刀头分为刀头上部分[1]和刀头下部分[5]，在刀头上下两部分相接触的表面上都分别涂有一层SiO2绝缘膜[2]，热电偶薄膜由热电偶薄膜NiCr膜[3]和NiSi膜[4]组成，由热电偶接点[B]连接在一起的热电偶薄膜NiCr膜[3]和NiSi膜[4]被放置在刀头上部分[1]和刀头下部分[5]之间的SiO2绝缘膜[2]上，刀头上下两部分通过一个阶梯相互定位，并用高强度胶粘接成一个整体；由导电银胶[6]将NiCr热电偶丝[7]和NiSi热电偶丝[8]分别与采用多弧离子镀方法直接在刀头内镀制的热电偶薄膜NiCr膜[3]和NiSi膜[4]相连接，NiCr热电偶丝[7]和NiSi热电偶丝[8]通过在刀头下半部[5]上的通孔[A]引出刀头体外，通孔[A]用绝缘胶[9]灌封。