[发明专利]一种柔性电热驱动微夹钳

摘要

本发明为一种柔性电热驱动微夹钳，属于微机电系统领域中的微执行器类。柔性电热驱动微夹钳由驱动部分和钳体部分组成，驱动部分为V形梁阵列，微夹钳是利用高阻值的多晶硅材料进行体硅加工形成的一整体柔性结构，无需任何装配，整个钳体结构由四对摇杆，六对柔性铰链，驱动位移杆，驱动固定杆组成。四对摇杆的外轮廓形状曲线可为圆弧曲线，也可为矩形曲线、菱形曲线等多种形状，或为不同曲线形状的任意组合；六对柔性铰链都是杆状结构。这种微夹钳控制简单、易行，制作简单，且其位移放大倍数较大，输出效率高，精度高。可应用于微机电系统进行微操作、微装配等。

主权项

1、一种柔性电热驱动微夾钳，由驱动部分和钳体部分组成，驱动部分为V形梁阵列[16]，其特征是：微夹钳是利用高阻值的多晶硅材料进行体硅加工形成的一整体柔性结构，无需任何装配，整个钳体结构由四对摇杆[5a]和[5b]、[7a]和[7b]、[11a]和[11b]、钳臂[14a]和[14b]，六对柔性铰链[4a]和[4b]、[6a]和[6b]、[8a]和[8b]、[10a]和[10b]、[12a]和[12b]、[13a]和[13b]，驱动位移杆[9]，驱动固定杆[1a]、[1b]组成；四对摇杆的外轮廓形状曲线可以全部为圆弧曲线，也可以全部为矩形曲线、菱形曲线等多种形状，或为不同曲线形状的任意组合。六对柔性铰链都是杆状结构；钳臂摇杆[14a]和[14b]的上端是夹持端[15a]和[15b]，下端通过柔性铰链[12a]和[12b]及[13a]和[13b]分别与摇杆[5a]和[5b]的上端以及摇杆[11a]和[11b]的下端相铰接，摇杆[5a]和[5b]中间通过柔性铰链[4a]和[4b]与钳体固定杆[3a]和[3b]相铰接，下端又通过柔性铰链[6a]和[6b]与摇杆[7a]和[7b]的下端相铰接，摇杆[7a]和[7b]的上端通过柔性铰链[8a]和[8b]与钳体中间的驱动位移杆[9]的下端相铰接，驱动位移杆[9]的上端通过柔性铰链[10a]和[10b]与摇杆[11a]和[11b]的上端相铰接，驱动位移杆[9]的输入端与产生直线驱动位移的驱动部分V形梁阵列[16]相连，V形电热驱动部分[16]的固定杆[1a]和[1b]与钳体的固定杆[3a]、[3b]相连，电极[2a]和[2b]位于固定杆[1a]和[1b]的表面上。