[发明专利]支撑顶针的下拉机构

摘要

一种支撑顶针的下拉机构，应用于可抽取式反应器上。此可抽取式反应器的底板具有数个顶针，这些顶针分具有一基座。该下拉机构至少包含一升降机构与以一固定高度固定于升降机构上的一板材。此板材具有数个开口以分别让上述顶针的基座通过，且自这些开口分别延伸出至少一狭缝以让上述顶针通过。本发明利用板材不易形变的优点来作为支撑顶针的下拉机构，因此可以大幅地改善顶针下降不顺的问题。可有效地解决基板因传送不顺而破片的问题，以降低基板报废的数目，并且增加机台的运转时间。

主权项

1.支撑顶针的下拉机构，应用于可抽取式反应器上，该可抽取式反应器的底板具有数个顶针，每一顶针分别具有直径较大的一基座，该下拉机构至少包含：一升降机构；以及至少一板材以一固定高度固定于该升降机构上，该板材上具有数个开口以分别一一容纳该些顶针，自每一开口延伸出至少一狭缝，该些开口的尺寸足以容纳顶针的基座通过，所述的狭缝的宽度介于顶针与基座的宽度之间。