[发明专利]非易失性半导体存储器件有效
申请号: | 200410048866.6 | 申请日: | 2004-06-04 |
公开(公告)号: | CN1574358A | 公开(公告)日: | 2005-02-02 |
发明(设计)人: | 川崎利昭 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L27/10 | 分类号: | H01L27/10;H01L27/105 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 包于俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明有关非易失性半导体存储器件,具体为在存储单元中,NMOS晶体管的基板接触区及PMOS晶体管的阱接触区沿与浮栅垂直的方向配置,单元阵列是这样构成,它沿列方向(X)交替地配置存储单元和与所述存储单元线对称配置的存储单元,构成子阵列,再沿行方向(Y)平行配置或线对称配置沿列方向(X)配置的所述子阵列。由此,能在相邻的存储单元间公用基板接触区、阱接触区及PMOS晶体管的扩散区,所以单元阵列的面积可望减小。 | ||
搜索关键词: | 非易失性 半导体 存储 器件 | ||
【主权项】:
1.一种非易失性半导体存储器件,其特征在于,包括沿行方向(Y)及列方向(X)配置存储单元的单元阵列,所述存储单元由形成于第一导电型的半导体基板并具有第二导电型的通电区及栅极电极的第一MOS晶体管、具有设置在所述半导体基板上并起到作为控制栅极作用的第二导电型的阱及设在所述的阱上的所述第一导电型的通电区以及栅极电极的第二MOS晶体管、及公共连接所述第一MOS晶体管的栅极电极与所述第二MOS晶体管的栅极电极的浮栅等构成,通过将规定电压加在所述第一MOS晶体管及第二MOS晶体管的各端子上,能对流向所述浮栅的载流子进行写入、读出、删除动作,所述单元阵列沿与所述浮栅的长度方向分别垂直的方向,配置将电位赋予所述半导体基板及第二MOS晶体管的所述阱的阱接触区。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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